组合的装置,用于分析该固体的真实结构体的分析所述的发光特性的所有材料与阴极发光和扫描电子显微镜。
 
DE20307617  2003-5-16  实用新型

2003-10-2
 
  阴极发光和扫描电子显微镜具有一适配器(5)连接到一便携式光谱仪单元(PSU)(7)联通过一发光光纤电缆(lfc)(6)。电子束(1)激发样品件(3)在一真空测试室(2)用于阴极发光显微镜。一个透镜聚焦产生的发光辐射(4)在所述的LFC,其通过一个信号到所述电源供应器。
 
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