| 通过透射电子显微镜观察样品的方法 |
| US10353039 2003-1-29 发明申请 |
| 2003-10-2 |
| 当改变放大倍数时，视场的移动被自动校正。 以第一放大倍数搜索视场。 在图像显示部分上显示的样品的透射电子束图像上计算用于存储的指定记录对象的样品台坐标。 以第一放大倍率从样品的透射电子束图像中切出记录对象图像，并将其存储为第一图像。 在记录模式中，将透射电子显微镜的放大倍率设置为放大倍率的两倍，以将样品台移动到所存储的记录对象的样品台坐标。 利用与第一图像相同数量的像素捕获第二放大倍率的透射电子束图像，以从第一图像和第二图像的相关强度计算两个图像之间的移动量。 然后，相对于成像装置校正第二放大倍率的透射电子束图像，使得移动量为零，以存储获得的透射电子束图像(S29)。 |
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