| 带电粒子显微镜 |
| US10395672 2003-3-24 发明申请 |
| 2003-10-2 |
| 本发明提供一种带电粒子显微镜，在具备具有倾斜功能的样品台的带电粒子显微镜中，防止样品台的倾斜驱动影响光学显微镜等附加安装的其他外围设备。 在根据本发明的带电粒子显微镜中， 一种具有倾斜机构的样品台，包括在真空室的侧壁上的倾斜机构的旋转支撑部分， 以及至少一个附加安装的其它外围设备的检测部分，例如(1)光学显微镜， (2)激光散射显微镜和(3)光学高度检测系统以能够与倾斜机构的旋转轴一起移动的方式安装在腔室内的旋转支撑部分上， 不能在真空中设置的部件安装在室的外部。 |
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