| 双元原子力显微镜检测头 |
| CN03116770.5 2003-4-29 发明申请 |
| 2003-10-1 |
| 本发明公开了一种双元原子力显微镜检测头。它 具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探 针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单 元以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的 扫描控制系统。本发明的双元原子力显微镜 检测头可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的 扫描误差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。 使用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导 率样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工 业领域得到广泛应用。 |
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