产业集群信息网

产业专利数据

隔膜的附属单元，用于扫描电子显微镜

EP03005914 2003-3-17 发明申请

2003-9-24

该光栅电子显微镜具有一试样室与所述室中的一个电子检测器，一个样品台在所述腔室与一个样品固定器，其中一个所述样品上的表可调孔径系统相对于所述样品固定器具有该样品固定器和所述检测器之间的一个孔。一个独立的权利要求是还包括用于所述如下 : 一辅助单元用于本发明的装置。