| 环境扫描电子显微镜 |
| US10343638 2003-2-3 发明申请 |
| 2003-9-11 |
| 本发明提供了一种扫描电子束或离子束仪器，其能够通过孔(1)和孔(2)将束从高真空室(8)转移到高压室(5)中。 光束由通常位于孔(1)和(2)之间的线圈(3)偏转和扫描。 光束在放置在腔室(5)内的样品上的偏转幅度基本上大于孔(1)的直径。 通过孔(1)的泄漏气体通过端口(7)被适当的泵送装置除去。 孔径(1)的尺寸使得腔室(6)中的压力与超声射流和在其中自然形成的冲击波相结合不会导致腔室(6)中的灾难性电子束损失。 增加适当的检测装置，使仪器在低倍率下具有更好的视场，更好的真空系统以及更好的检测和成像能力，从而使仪器具有优于现有技术的性能。 |
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