| 原子力显微镜的方法和装置 |
| US10240259 2003-3-21 发明申请 |
| 2003-8-28 |
| 一种用于原子力显微镜的探针模块，具有衬底(33)和从衬底突出的可偏转悬臂探针(4)。 在原子力显微镜的头部中，探针以其轴线垂直于样品表面的方式安装，以便例如进行剪切力显微镜或横向动态力显微镜。 悬臂探针(4)具有反射表面(43)，该反射表面(43)沿着探针向上引导，使得可以使用光束装置来跟踪探针尖端的移动，该光束装置本身可以是常规的。 通过这种方式，在垂直模式中的AFM过程可以使用AFM头来执行，所述AFM头不需要对传统的近平行模式布置进行太多的修改。 所述探针还可以以攻丝模式使用，以研究样品表面上的侧壁特征。 |
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