| 原子力显微镜 |
| GB0316577 2003-7-15 发明申请 |
| 2003-8-20 |
| 一种用于一种原子力显微镜探头(22)是适合于这样的,即,作为一个样品(14)上扫描,它经历一个fdirect偏置力推动所述探头向该样品,这提高了探头trackingof所述样品表面和更快的扫描是可能的,这为实现由任一包括一偏压元件(24,50),它是响应于一个外部施加力,在所述探头(22)和\/或降低所述质量因子的一支撑梁。所述偏置元件可,用于例如,被一磁体(24)或一电-导电元件(50)。所述质量因子可以被降低通过涂布所述beamwith一个机械-能量耗散材料。 |