| 改进的环境扫描电子显微镜 |
| JP2003006761 2003-1-15 发明申请 |
| 2003-8-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一个环境扫描电子显微镜用于获得分辨率等于分辨率的传统SEM。溶液 : 一个偏置环电极检测一个二次电子从一个样品，并减少了导出一个信号从一个后向扩散的电子。一个偏置压力限制开口电子检测器是还提供用于减少信号通过一种电子束发生噪声。一个光学窗装置被设置，使得用户可以容易地切换常规环境的SEM的电子图像(一直径约0.5是一个限制)，以光学的可见光观察该样品包括一可视场到达约7至10mm。这种环境SEM的结构实现了一取出角度X-射线检测器(一个EDX检测器等于一取出一种EDX的角度检测器在所述约定的SEM照片。 |
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