| 扫描探针显微镜和样品表面结构的测量方法。 |
| WOJP03001168 2003-2-5 发明申请 |
| 2003-8-14 |
| AFM(原子力显微镜)的一个数字探测型用于测量一高方面结构与高精度。一个探针(21)，同时被振动，是由接近该样品的表面。所述当一预定的所述的探针原子力的位置被检测到的所述的吸引力区域中被测得的(1)。所述探针是从所述样品表面(2)移开。该伺服系统用于保持所述所述探针和所述样品表面之间的间距在一恒定距离是停止，和所述探头，同时从所述样品表面被分离，被移动到一个测量点沿着所述样品表面(3)。该振动的频率是，例如，稍微出的所述悬臂的所述谐振点。所述悬臂从所述的振动振幅的变化，所述原子力被确定。 |
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