| 光力信号解调方法和光致力显微镜 |
| CN202310539799.0 2023-5-12 发明申请 |
| 2023-8-15 |
| 本发明公开了一种光力信号解调方法和光致力显微镜,该光力信号解调方法包括:将探针的振动电信号分别同时输入至第一图锁相放大器和第二图锁相放大器,第一图锁相放大器的参考信号频率为探针的悬臂受迫振动信号频率,第二图锁相放大器的参考信号频率为悬臂受迫振动信号频率和激发光的重复频率的之和或之差;采用第一图锁相放大器对探针的振动电信号进行解调得到样品的高度信号,采用第二图锁相放大器对探针的振动电信号进行解调得到样品的光力信号。由此,显著提高了样品的原位成像的便捷性,显著提高了探针的振动电信号的探测灵敏度,显著增加了样品扫描分辨率。 |