| 传感式原子力显微镜 |
| US10364823 2003-2-11 发明申请 |
| 2003-8-7 |
| 一种原子力显微镜利用脉冲释放系统和改进的操作方法来使固定到柔性悬臂上的探针尖端与被测样品之间的接触力最小化。 所述脉冲释放系统包括固定在所述探针尖端附近的磁性颗粒和电磁线圈。 当通电时，电磁线圈产生磁场，该磁场将驱动力施加到磁性颗粒上，该驱动力足以克服在探针尖端和样品之间呈现的附着力。 原子力显微镜包括两个可沿Z轴操作的可独立移动的压电元件。 控制器驱动第一Z轴压电元件以在探针尖端和样品之间提供受控的接近，直到探针尖端和样品之间的接触点。 控制器然后驱动第一Z轴压电元件以从样品中抽出悬臂。 所述控制器还启动脉冲释放系统，所述脉冲释放系统在抽出期间驱动探针尖端远离样品。 在退出之后，控制器调节第二Z轴压电元件的高度，以在连续样本之间保持基本恒定的接近距离。 |
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