| 使用扫描电子显微镜检查装置 |
| WOJP03000479 2003-1-21 发明申请 |
| 2003-7-31 |
| 一种检查装置(1)使用一种扫描电子显微镜(6a)能够非破坏性检查和测量的所述的任何部分一个检查对象不被限制通过所述检查对象的尺寸，包括一局部真空形成部分(9)。用于形成一局部真空通过屏蔽所述周边区域的所述检查对象的所述检查部分从所述外部空气，所述局部真空形成部分还包括一个放电部分，用于排出空气，以形成所述局部真空区域，一个提高部分(14)用于提高该局部真空形成部分的整个部分从所述检查对象通过喷射压缩气体到所述外边缘部分的所述局部真空形成部分，和一个长度测量部分(16)用于测量所述检查对象之间的距离和所述局部真空形成部分，以控制所述的上升该局部真空通过所述提高部形成部。 |
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