| 具有环形照明孔的电子显微镜 |
| US10339276 2003-1-9 发明申请 |
| 2003-7-17 |
| 在具有相衬成像的透射电子显微镜中，用环形照明孔径对要成像的物体进行照明。 具有中心孔径的环形相移元件布置在相对于物平面变换的平面傅立叶中。 环形相移元件使零光束产生一个1/2的相移， 同时在物体上沿光轴方向衍射的较高衍射级的辐射通过环形相移元件的中心孔径，因此不受相移元件的影响，或仅受相移元件的轻微影响。 优选地，所述环形照明孔径由偏转系统按时间顺序产生，所述偏转系统在与所述物体平面共轭的平面内产生光束倾斜。 |
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