| 扫描透射电子显微镜的方法和装置 |
| US10346138 2003-1-17 发明申请 |
| 2003-7-10 |
| 一种扫描透射电子显微镜(STEM)，其提供与扫描电子显微镜(SEM)基本相同的操作便利性，并且提供与透射电子显微镜(TEM)基本相同的分辨率。 本发明的杆基于SEM的构成而构成。 所述杆包括 : 电子源，用于产生初级电子束； 将来自电子源的初级电子束会聚到用于照明的样品上的电子照明透镜系统； 一个电子偏转系统，用于扫描具有发射到其上的初级电子束的样品； 散射电子检测器，用于检测透过样品的散射电子； 投影透镜系统，用于将散射电子投影到散射电子检测器的检测表面上； 图像显示装置，用于使用来自散射电子检测器的检测信号显示样品的扫描透射电子显微镜图像； 以及检测角改变装置，用于可变地建立由散射电子检测器检测的散射电子的散射角范围。 该结构通过有选择地设置散射电子检测器的检测角范围，提高了扫描透射图像的被观察样品的所需部分的对比度。 |
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