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产业专利数据

扫描电子显微镜

US10368440 2003-2-20 发明申请

2003-7-3

本发明实现了高分辨率的图像观测，获得了样品的不规则信息。利用设置在漏磁场型物镜(7)的电子源(1)侧的检测器(10a，10b)检测在与试样(8)的表面成小角度的方向上发射的反射电子(12a)，形成试样图像。从样本图像中出现的光和阴影的影响获得样本的不规则性信息。