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制造具有场效应晶体管沟道的扫描探针显微镜(SPM)的探针的方法

US10336068 2003-1-2 发明申请

2003-6-12

本发明提供了一种在探针尖端具有场效应晶体管(FET)结构的扫描探针显微镜(SPM)的探针，以及制造该探针的方法，所述探针具有场效应晶体管(FET)结构。具有源极，沟道和漏极的SPM探针通过将单晶硅衬底蚀刻到V形沟槽中并在V形沟槽的一端处的蚀刻倾斜侧掺杂杂质而形成。