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高频增强型电化学应变显微镜和使用该显微镜的高频增强型电化学应变显微镜法

CN202080107934.9 2020-12-25 发明申请

2023-8-15

本发明的高频增强型电化学应变显微镜是能对通过使探测器的顶端部与试样的表面接触并施加第一交流电压而产生的局部的ESM响应量进行标测的电化学应变显微镜(ESM)，具备能施加叠加于第一交流电压的、频率比第一交流电压的频率高的第二交流电压的交流电压源。