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用于微型气相色谱仪等的分离微柱组件

US10437101 2003-5-13 发明申请

2003-12-25

本发明提供了一种用于微气相色谱仪等的高灵敏度，分离微柱组件。所述组件具有超低质量，并具有集成的加热器。所述组件使用多个区域进行温度控制，以及允许非常快速地加热和冷却所述微柱的微结构。