| 密封装置和扫描电镜系统 |
| CN202310850583.6 2023-7-12 发明申请 |
| 2023-8-11 |
| 本申请公开密封装置和扫描电镜系统，涉及电子显微镜技术领域。密封装置连接扫描电镜和换样仓，包括阀壳和阀芯，阀壳设有容纳腔、第一开孔和第二开孔，第一开孔和换样仓连通，第二开孔和扫描电镜的内腔连通，阀芯包括压板和密封板，压板可以沿第一方向和第二方向移动，密封板和压板活动连接，在压板沿第一方向移动时，密封板跟随移动并朝向第二开孔移动以密封第二开孔，在压板沿第二方向移动时，密封板跟随移动并背向第二开孔移动以开启第二开孔。压板的移动方向与第二开孔的轴向相交，能避免压板的移动占用容纳腔以外空间，密封板在跟随压板移动的过程中朝向和背向第二开孔移动，避免密封板与容纳腔的腔壁发生滑动摩擦，从而避免磨损。 |
微信公众号