| 基于扫描电子显微镜图像的间距行走检查方法和包括该检查方法的半导体器件的制造方法 |
| US17935128 2022-9-25 发明申请 |
| 2023-8-10 |
| 一种间距行走检查方法，包括：获得通过多图案化技术(MPT)形成的线和间隔(L/S)图案的扫描电子显微镜(SEM)图像，其中L/S图案包括交替布置的多个线和间隔; 检测所述SEM图像中的所述L/S图案的主间距； 基于所述MPT，将所述主间距的图形划分为分量间距的图形； 对分量间距的每个图执行快速傅里叶变换(FFT); 将各分量间距图的FFT的相位和强度图相乘，得到补偿后的FFT相位图； 以及通过获得补偿的FFT相位图的相位峰值之间的差来计算L/S图案的间距游走。 |
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