| 用于确定用多束带电粒子显微镜成像的图像中的特征的失真校正位置的方法、对应的计算机程序产品和多束带电粒子显微镜 |
| WOEP23025023 2023-1-20 发明申请 |
| 2023-8-10 |
| 种多束带电粒子显微镜(1)，包括：至少第集体光栅扫描仪(110)，用于在多个J个图像子场(31.mn)上集体扫描多个J个初级带电粒子束(3)； 探测单元(200)，其包括用于探测多个J个二次电子子束(9)的探测器，每个二次电子子束对应于J个图像子场(31.mn)中的一个图像子场； 以及控制器(800，820)，包括：扫描控制单元(930)，其连接到所述第一集体光栅扫描器(110)，并且被配置用于在使用期间控制所述多个J个主带电子束(3)与所述第一集体光栅扫描器(110)的光栅扫描操作，核生成单元(812)，其被配置用于在使用期间生成用于所述图像子场(31.mn)的空间变失真校正的空间变滤波器核(910)，以及图像数据获取单元(810)，其操作与所述检测器的操作同步， 所述扫描控制单元(930)和所述核生成单元，其中，所述图像数据采集单元(110)针对所述J个图像子场中的每个图像子场包括：模数转换器(811)，用于在使用期间将从所述检测器接收的模拟数据流转换成描述所述图像子场(31.mn)的数字数据流，硬件滤波单元(813)，其被配置为接收所述数字数据流，并且被配置为在使用期间执行所述图像子场(31.mn)的片段(32)与所述空间变量滤波核(910)的卷积， 从而生成经失真校正的数据流，以及-图像存储器(814)，其被配置用于将所述经失真校正的数据流存储为所述图像子场(31.mn)的2D表示。 |
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