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扫描探针显微镜和对准、聚焦和测量的方法

WOUS23012271 2023-2-3 发明申请

2023-8-10

一种扫描探针显微镜和操作该扫描探针显微镜的方法，通过相对于探针的尖端调节聚焦光束在探针上的焦点位置，然后测量作为聚焦光束的位置的函数的探针和从探针散射的光辐射的响应中的至少一个，来选择聚焦光束在扫描探针显微镜的探针上的优选焦点位置。聚焦光束在探针上的优选焦点位置基于对探针的响应和从探针散射的光辐射中的至少一个的测量。