| 扫描电子显微镜及扫描电子显微镜的二次电子检测方法 |
| JP2023094642 2023-6-8 发明申请 |
| 2023-8-8 |
| 目的：提供一种扫描型电子显微镜以及该扫描型电子显微镜的二次电子检测方法，其使在第一控制装置、第二控制装置以及第三控制装置中发生的色散返回并减少，并以高空间分辨率检测在样品表面产生的二次电子。 构成：扫描电子显微镜包括一次电子照射系统、第一控制装置、第二控制装置、由物镜组成的成像系统、第三控制装置和二次电子探测系统，并且一次电子照射系统的轴和二次电子探测系统的轴关于成像系统的轴对称地布置，并且由于偏转而被分散的一次电子和二次电子被反向分散以分别返回到一次电子和二次电子没有分散的状态， 并且一次电子和二次电子的方向在没有色散或一次电子和二次电子的色散减小的情况下移位。 选图：图2版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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