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电子显微镜
DE112016007631 2016-9-23 发明授权
2023-8-3
本发明旨在创建一种电子显微镜,该电子显微镜可以通过将NEG布置在电子源周围的引出电极上而在合适的温度下激活。 本发明是具备电子枪的电子显微镜,所述电子枪包括电子源、引出电极和加速管,所述加速管在连接部与所述引出电极连接,所述引出电极包括第一加热器和第一NEG,所述第一加热器和所述第一NEG在由所述电子源发射的电子束的轴向上彼此隔开。
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