| 用于校准扫描带电粒子显微镜的方法 |
| US18126322 2023-3-24 发明申请 |
| 2023-8-3 |
| 提供了一种用于校准扫描带电粒子显微镜例如扫描电子显微镜(SEM)的方法。 所述方法包括：将晶圆划分为多个区域； 在所述多个区域中的每一个上制备图案，所述图案包括与第二周期性结构交错的第一周期性结构，所述第一和第二周期性结构具有感应偏移； 确定所述第一和第二周期性结构的实际间距，从而确定所述多个区域中的每一个上的实际感应偏移； 从所述多个区域中选择多个区域； 通过所述SEM测量所述多个区域中的每一个上的第一和第二周期性结构的间距； 以及基于所述确定和测量对SEM执行线性校准。 |
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