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产业专利数据

聚焦离子束铣削和扫描电子显微镜成像相结合

US17591569 2022-2-2 发明申请

2023-8-3

双聚焦离子束和扫描电子束系统包括产生电子束的电子源和产生离子束的离子源。电子束柱以相对于台的顶表面的法线角度引导电子束。离子束柱将离子束引导到台架处。离子束相对于电子束成一定角度。检测器接收从平台上的晶片反射的电子束。