| 一种扫描电子显微镜及其样品微观结构演化的观测方法 |
| CN202310278300.5 2023-3-21 发明申请 |
| 2023-8-1 |
| 本发明公开一种扫描电子显微镜及其样品微观结构演化的观测方法，包括能够观测待处理样品表面微观结构形貌的扫描电镜腔体，扫描电镜腔体上设有可变输出功率的激光辐照机构、用于测试待处理样品表面温度的红外测温仪，激光辐照机构发射的激光光斑聚焦在待处理样品表面上，红外测温仪与激光辐照机构形成反馈调节的电连接，扫描电镜腔体内可移动设有样品台，样品台上设有用于盛放待处理样品的坩埚，样品台的内部穿设有配合激光辐照机构对待处理样品降温的冷却液管路，冷却液管路与坩埚传热接触，其进液端和出液端均伸出扫描电镜腔体并连通有冷却液供给机构，能够更加真实且方便的模拟热处理过程中，对样品的微观结构演化与物相转变的观测和记录。 |
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