| 电极结构、静电偏转器及扫描电镜 |
| CN202310518503.7 2023-5-9 发明申请 |
| 2023-8-1 |
| 本申请涉及扫描电镜技术领域，尤其是涉及一种电极结构、静电偏转器及扫描电镜。该电极结构包括转接部及多个电极部；多个电极部沿排列方向间隔布置且均位于转接部的一侧；转接部连接于多个电极部且用于连接供电电源。本申请提供的电极结构中的各电极部，均通过转接部实现通电，各电极部不须单独接电，如此通过单根供电线缆即可为电极结构中的各电极部供电，极大地减少接线数量。因而，由该电极结构组装而成的静电偏转器所需的供电线缆数量大幅减少，装配难度降低，极大地提高了该静电偏转器的良品率。 |
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