| 扫描电镜内原位纳米压痕测试装置 |
| CN202320667669.0 2023-3-30 实用新型 |
| 2023-8-1 |
| 本实用新型涉及一种扫描电镜内原位纳米压痕测试装置，属于机电一体化精密仪器领域。测试装置由精密压入驱动?位移集成单元、精密压入力检测单元、XY轴压电精密定位平台、Z轴压电精密定位平台和底座组成。精密压入驱动?位移集成单元安装在Z轴压电精密定位平台上，精密压入力检测单元安装在XY轴压电精密定位平台上，Z轴压电精密定位和XY轴压电精密定位平台均安装在底座上。优点在于：装置结构新颖、小型化、精度高、兼容性好、定位范围大，可与扫描电镜配合使用原位观测压头压入压出过程中被测材料的变形过程和损伤机理。 |
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