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具有原子层沉积涂层部件及其制造方法

US14597159 2015-1-14 发明申请

2015-5-7

本发明提供在其内表面上具有保形保护涂层的液相色谱和气相色谱部件及其制造方法。共形保护涂层通过原子层沉积(ALD)工艺形成。本公开的组分和方法用于提供与生物分析分离和灵敏痕量分析兼容的用于液相色谱和气相色谱组分的保护涂层。