| 混合显微镜装置和显微镜系统 |
| JP2022006812 2022-1-20 发明申请 |
| 2023-8-1 |
| 所要解决的问题：提供一种能够在单个显微镜装置中通过透射光对同一样品的同一部分进行光学显微镜观察和扫描电子显微镜观察而不使用单独的显微镜的装置。 解决方案：根据本发明的一个实施例的混合显微镜装置100在与用电子束照射观察目标样品的一侧相同的一侧上包括用于光学显微镜观察的光源122，并且在相对于观察目标样品与电子束照射侧相反的一侧上布置有用于获取观察目标样品的透射光图像的光学图像检测器121。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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