| 可用于扫描电镜内原位观测的小型化划痕测试装置及方法 |
| CN202310310003.4 2023-3-28 发明申请 |
| 2023-7-25 |
| 本发明涉及一种可用于扫描电镜内原位观测的小型化划痕测试装置及方法，属于材料力学性能测试领域。该装置包括底座、压电精密压入单元、压电精密划痕单元、轴向力传感器和横向力传感器。压电精密压入单元、压电精密划痕单元分别固定在底座上；轴向力传感器和横向力传感器均由弹性梁与应变片组组成，分别固定在压电精密压入单元、压电精密划痕单元上。优点在于：可以同时实现横向力与轴向力的测量，且横向力和轴向力间无耦合，测量精度高；该装置结构紧凑，三维尺寸为90mm×70mm×70mm，可满足绝大多数扫描电镜真空腔体积的限制。 |
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