| 测试调整装置以及原子力显微镜 |
| CN202320261226.1 2023-2-10 实用新型 |
| 2023-7-25 |
| 本实用新型公开了一种测试调整装置及原子力显微镜，测试调整装置包括底座、样品调整机构以及探针调整机构。样品调整机构包括第二位移组件以及样品托，样品托沿第一方向可插拔地设于第二位移组件，第一方向平行于水平方向；探针调整机构包括第四位移组件以及探针托，探针托沿第一方向可插拔地设于第四位移组件；其中，样品调整机构上设有限位结构，以在插拔样品托的过程中对第二位移组件在第一方向上限位；和/或，探针调整机构上设有限位结构，以在插拔探针托的过程中对第四位移组件在第一方向上限位。根据本实用新型实施例的测试调整装置，可以防止在对插拔样品托和/或探针托的过程中对第二位移组件和/或第四位移组件造成损伤。 |
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