| 一种扫描电子显微镜探测器及探测方法 |
| CN202310722971.6 2023-6-19 发明申请 |
| 2023-7-21 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜探测器，所述探测器包括：具有中心孔的闪烁体、所述闪烁体表层镀有导电薄膜，同时，所述闪烁体另一面通过光学胶与一光纤束传导装置连接，所述光纤束传导装置包含多根光纤，所述光纤束中的每一根光纤将与之对应位置闪烁体产生的光信号沿光纤传导到信号收集及处理系统中，所述信号收集与处理系统对信号进行分区处理、光电转换、放大及数学运算。应用所述探测器可以实现探测器表面的分区域信号收集效果，通过不同的信号处理方法更丰富的反应样品信息；实现了在不改动硬件基础上就可实现了探测器的多功能化。同时本发明还公开了一种上述扫描电子显微镜探测器的探测方法。 |
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