| 一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台 |
| CN202320220201.7 2023-2-15 实用新型 |
| 2023-7-21 |
| 本实用新型公开了一种用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，涉及半导体技术领域，包括圆盘平台和接触板，所述圆盘平台的外表面上方两端固定安装有支撑板，所述圆盘平台的外表面上方中部固定安装有固定板，所述支撑板的内表面贯穿滑动连接有活动杆。该用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台，与现有的普通用于观察片状样品截面的扫描电镜样品台相比，拉动拉板带动活动杆向一侧移动，使推力弹簧收缩，活动杆带动接触板与固定板分离，将片状样品贴合固定板放置，松开拉板，推力弹簧带动接触板和活动杆复位移动，接触板将片状样品紧紧固定，便于对片状样品的固定和取出，实现对片状样品截面高效、安全和稳定地进行测试。 |
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