| 一种显微镜平台防Particle保护盖 |
| CN202320668349.7 2023-3-30 实用新型 |
| 2023-7-18 |
| 本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种显微镜平台防Particle保护盖，包括基座，所述基座上设置有测量载物台，所述基座的后侧设置有支撑部，对应所述支撑部前侧设置有可上下移动的显微镜装置，所述显微镜装置包括目镜，所述目镜的下侧设置有连接座，所述连接座的下侧设置有换镜盘，所述换镜盘靠近测量载物台的一侧沿环形均匀的设置有若干个物镜，所述连接座的下侧对应测量载物台设置有保护盖，所述保护盖由透明材料制成。本实用新型能够避免Particle掉落在产品上，减少异常发生，避免客户抱怨。 |
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