| 静电镜色差校正器 |
| JP2022211187 2022-12-28 发明申请 |
| 2023-7-12 |
| 要解决的问题：在不使用偏转系统或光束分离器的情况下，通过带电粒子系统开发实用的反射镜系统。 解决方案：根据本公开的静电镜色差(Cc)校正器包括静电电子镜，该静电电子镜本身包括多极。 所述静电电子镜被定位在所述静电电子镜内，使得当使用时，穿过所述静电电子镜的电子束不沿着所述镜的光轴入射到所述静电电子镜上。 静电反射镜的反射镜物距等于静电反射镜的镜像距离，并且静电反射镜被配置为使得静电反射镜对电子束不施加色散或彗差。 多极子位于静电电子镜的镜面中，并且在一些实施例中，多极子是四极子。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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