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原子力显微镜用石英振荡器悬臂及探针

KR1020220001341 2022-1-5 发明申请

2023-7-12

本发明涉及一种用于以非接触方式扫描材料表面的原子力显微镜的晶体振荡器悬臂和探针。本发明一种下表面附有针尖、上表面附有反射镜的用于原子力显微镜的晶振悬臂，所述晶振悬臂为下表面附有针尖的下晶振；上部晶体振荡器，所述反射镜附接到所述上部晶体振荡器的上表面；以及介于所述下部晶体振荡器与所述上部晶体振荡器之间的晶体间隔件。