| 一种扫描电镜及其加热机构 |
| CN202310278302.4 2023-3-21 发明申请 |
| 2023-7-11 |
| 本发明公开一种适用于扫描电镜的加热机构，包括激光器、壳体组件和样品夹持件，样品夹持件的夹持孔能够容纳样品，激光器发射的激光束穿过加热孔进入壳体组件的内腔中，并照射到样品上，壳体组件还设置观察孔，保证扫描电镜的正常工作。本发明利用激光直接加热样品，代替钨丝作为热源，激光具有方向性好，能量高、稳定、集中的特点，作用于物体引起的热效应快，从而避免由于加热对扫描电镜成像造成的影响，提高扫描电镜清晰度。本发明还提供一种扫描电镜，包含上述的适用于扫描电镜的加热机构，提高扫描电镜的工作可靠性。 |
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