| 原子力显微镜-全内反射红外光谱同步获取装置及方法 |
| CN202310423142.8 2023-4-20 发明申请 |
| 2023-7-4 |
| 本发明公开一种原子力显微镜?全内反射红外光谱同步获取装置及方法，涉及红外光谱技术领域，合束镜将红外激光和可见激光进行合束，使红外激光和可见激光共线，得到共线激光，入射调节组件使共线激光垂直经过三棱镜的入射侧面聚焦到样品侧面上，且使共线激光的焦点位于针尖的正下方，完成共线激光和原子力显微镜探针的空间位置耦合，处理器对原子力显微镜生成的微悬臂偏转信号和光热探测器生成的反射激光强度信号进行处理，同时得到原子力显微镜红外光谱和全内反射红外光谱，从而可同步获取原子力显微镜红外光谱和全内反射红外光谱，实现原子力显微镜红外光谱和全内反射红外光谱的同时、原位采集。 |
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