| 基于电离检测器的光在微系统的技术和生产工艺及其 |
| EP08160779 2008-7-21 发明申请 |
| 2010-1-27 |
| 所述检测器具有一电离信道(122)通过形成一凹槽(121)在派热克斯玻璃基板(110)和一种硅衬底(120)。电离辐射窗口是可渗透与一波长的UV范围内。该窗口被设置使得一个样品气体流动通过所述电离信道是辐射通过所述电离窗口与电磁的辐射从一个LED。一种测量阴极和一个测量阳极被设置在所述电离信道。一个测量电路被耦合与所述用于检测离子的阴极和阳极，其通过从一个样品气体到所述阳极或阴极。所述热克斯玻璃基板和所述硅衬底被设计为片状基板。独立权利要求书是还包括用于所述如下 : (1)一种微系统-技术基于气体的相色谱 |
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