| 一种扫描光电流显微镜及测量方法 |
| CN202310508755.1 2023-5-8 发明申请 |
| 2023-6-30 |
| 本发明涉及一种扫描光电流显微镜及测量方法，显微镜包括样品放置台、扫描机构、探针位置传感机构、光源、光功率计和摄像机；扫描机构包括探针和扫描头，扫描头与探针连接，扫描头设有压电管；探针位置传感机构包括激光发射器和光位移传感器；光源位于样品放置台的上方，光源所发出的光自上而下照向样品；能够实现完成对样品的表面形貌数据、表面电流数据、表面光电流数据的测量，光源自上而下的光照方式能够适用于不透光的样品，并且允许测试过程中对样品表面的光功率进行标定，从而实现了定量的光电流表征；具有多功能性、高泛用性的优点，提升了应用场景适用性。 |
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