干涉扫描透射电镜
 
US17991415  2022-11-21  发明申请

2023-6-29
 
  一种干涉型扫描透射型电子显微镜,包括:发射电子束的电子源、向试样照射会聚的电子束的透镜、分割通过所述试样的电子波并使分割后的第一电子波与第二电子波重叠而形成干涉条纹的电子束双棱镜、检测所述干涉条纹的检测器即照相机、以及基于所述干涉条纹计算所述第一电子波与所述第二电子波的相位差的计算机。 其中所述电子束双棱镜设置在所述样品和所述检测器之间。
 
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