| 原子力显微镜(AFM)装置及其操作方法 |
| WONL22050755 2022-12-23 发明申请 |
| 2023-6-29 |
| 原子力显微镜(AFM)装置及其操作方法公开了一种原子力显微镜(AFM)装置(1)，其包括用于扫描样品(9)的至少一个扫描头。 悬臂偏转检测器(30)在所述扫描期间测量探针相对于扫描头的偏转(d)，并提供指示偏转的输出信号。 AFM装置的控制器(40)接收并分析来自悬臂偏转检测器的输出信号，用于测量探针的偏转，并且在所述扫描期间根据关于当前正在扫描的样品的位置附近的样品特性的信息自动地适配一个或多个成像参数。 关于样品特性的信息包括来自样品的规格、用于制造样品的配方的信息中的一个或多个。 |
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