| 扫描探针显微镜系统和操作这种系统的方法 |
| WONL22050760 2022-12-23 发明申请 |
| 2023-6-29 |
| 本文件涉及一种扫描探针显微镜系统，其包括样品支撑结构、包括探针的传感器头、偏转传感器单元以及包括Z运动致动器和扫描致动器的致动器。 该系统还包括能够接收偏转传感器信号并控制致动器的控制单元。 所述控制单元包括多个信号处理单元，每个信号处理单元能够：接收所述偏转信号，提供处理后的信号，并与触发单元协作，所述触发单元将所述处理后的信号与预定触发条件进行比较，并在满足所述条件时产生触发。 |
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