| 一种基于扫描电子显微镜的立体长度测量方法 |
| CN202310390926.5 2023-4-12 发明申请 |
| 2023-6-27 |
| 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的立体长度测量方法，通过扫描电子显微镜测量出样品台水平状态和绕X轴倾斜η角度后待测样品在电子荧幕的XY平面内的投影长度lα、lβ及投影与X轴的夹角α、β，从而计算得出样品台水平状态时待测样品在电子荧幕的YZ平面内的投影与Y轴的夹角θ，最后得出待测样品的立体长度L；其中，α、β应与X轴的同方向取值且不小于零度且不大于九十度；样品台倾斜η角度后，待测样品在YZ平面内的投影所处的象限与初始状态时在YZ平面内的投影所处的象限相一致。本发明仅通过样品台的一次倾斜即可计算出待测样品的三维立体长度，操作简单，测量结果准确，对微纳米级的立体长度测量研究具有重要意义。 |
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