| 显微镜照明系统、成像系统、硅片缺陷的检测装置及方法 |
| CN202310638595.2 2023-6-1 发明申请 |
| 2023-6-27 |
| 本发明提供了一种显微镜照明系统、一种显微镜成像系统，以及一种硅片缺陷的检测装置及方法。所述显微镜照明系统包括原始光源、光学扩展量扩大模块以及柯勒照明模块。所述原始光源用于提供目标光谱范围的第一光束。所述光学扩展量扩大模块位于所述原始光源的后端，用于根据显微物镜所需的目标光学扩展量，对所述第一光束进行光学扩展量的扩大处理，以输出第二光束。所述柯勒照明模块位于所述光学扩展量扩大模块的后端，用于对所述第二光束进行匀光处理，以向后端的所述显微物镜提供所述目标光学扩展量的第三光束，并经由所述显微物镜向待测目标的表面提供符合目标照度分布的第四光束。 |
微信公众号