| 用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪 |
| CN201410618422.5 2014-11-6 发明申请 |
| 2015-1-21 |
| 本发明为一种用于电子级六氟乙烷中微量杂质分析的气相色谱仪，其结构包括进样系统，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：所述进样系统包括样品进口、样品出口、第一定量管、第二定量管、第三定量管；所述切换阀包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀；所述色谱柱包括第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第六色谱柱；所述放空针阀包括第一针阀、第二针阀、第三针阀)、第四针阀、第五针阀、第六针阀；所述检测器包括氦离子化第一检测器PDD1和第二检测器PDD2。本发明一次进样 |
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