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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质

CN202310318162.9 2023-3-28 发明申请

2023-6-23

本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本申请实施例还提供了实现所述方法的装置、扫描电子显微镜和存储介质。